TBJ系列洁净干燥箱又称无尘烘箱、无尘循环风烘箱，适用于无尘车间的各种工件的热处理以及电子产品的老化等作用，以保证工件的精度和洁净度。如电子液晶显示、LCD，CMOS，IS、医药、实验室等生产及科研部门，也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。半导体制造中硅片、铌酸锂、砷化锦、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤等。

悬浮粒子个/m3

级别

静态

动态

级别

动态

级别

动态

≥0.5um

≥5um

≥0.5um

≥5um

≥0.5um

≥5um

≥0.5um

≥5um

A

3520

20

3520

20

M3.5

3530

100

4.8

2220

20

100

B

3520

29

352000

2900

-

-

-

5.0

3520

29

1000

C

352000

2900

3520000

2900

M5.5

353000

10000

7.0

352000

2930

10000

8.0

3520000

29300

100000

D

3520000

29000

不做规定

不做规定

M6.5

3530000

100000

8.0

3520000

29300

100000

级别

浮游菌（cfu/m3）

沉浮菌（cfu/4h）

级别

浮游菌（cfu/m3）

沉浮菌（cfu/4h）

级别

浮游菌（cfu/m3）

FDA M3.5/WHO ：0.45/s（±20%）

A

<1

<1

M3.5

<3

-

A

<3

<3

B

10

5

-

-

-

B

10

5

China GMP  EU GMP ：0.36-0.54m/s

C

100

50

M5.5

<20

-

C

100

50

D

200

100

M6.5

<100

-

D

200

100

级别

接触碟（cfu/碟）

手套（cfu/手套）

级别

设备设施表面（cfu/碟）

地板（cfu/碟）

手套（cfu/碟）

工作服（cfu/碟）

级别

接触碟（cfu/碟）

手套（cfu/碟）

A

<1

<1

M3.5

<3（包括地板）

3

5

A

<3

<3

B

5

5

-

-

-

-

-

B

5

5

C

25

-

M5.5

5

10

10

20

C

25

25

D

50

-

M6.5

-

-

-

-

D

50

50

电源电压

AC380V/50HZ

控温范围

RT+25℃～300℃

恒温波动度

±0.5℃

洁净度

Cla

Class 100#

Class 100#

Class 100#

Class 100#

Class 100#

功  率

7.5Kw

10.5Kw

11Kw

17Kw

内胆尺寸

（W*H*D）mm

600X600X500

600X900X500

800X1000X600

1400X1000X700

容积

30L

70L

180L

270L

480L

980L

隔板数量

2块

可选配件

温度记录仪、三色指示灯、惰性气体进气阀