百级洁净干燥箱，又称无尘烘箱，TBJ系列洁净干燥箱适用于无尘车间的各种工件的热处理以及电子产品的老化等作用，以保证工件的精度和洁净度。如电子液晶显示、LCD，CMOS，IS、医药、实验室等生产及科研部门，也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。半导体制造中硅片、铌酸锂、砷化锦、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤等。

百级洁净干燥箱

用途概述

百级洁净干燥箱，又称无尘烘箱，TBJ系列洁净干燥箱适用于无尘车间的各种工件的热处理以及电子产品的老化等作用，以保证工件的精度和洁净度。如电子液晶显示、LCD，CMOS，IS、医药、实验室等生产及科研部门，也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。半导体制造中硅片、铌酸锂、砷化锦、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤等。

TBJ系列洁净干燥箱产品特点

※采用智能温控系统，具有自动恒温，升降温、温度定时等控制功能，控制精确可靠；

※具有锁屏密码，可选配三级权限和审计追踪功能，可回放或导出实验数据及运行和操作者信息；

※彩色触摸屏，PID自整定，支持参数设置、程序升温、远程监控、报警记录查询及USB数据导出可选配RS-485接口，接入实验室MES系统。

※内胆采用316不锈钢，全周氩焊，外壳表面静电镀膜喷涂，经典耐用，温场均匀可靠；

※采用多层隔热及螺旋风道设计，内置风机形成正压循环，实时排出颗粒物，避免停机后洁净度衰减；

※内置高效过滤器（H14），过滤效率达99.995%，实时监测并维持百级洁净度，避免传统干燥箱“静态洁净"导致的二次污染。

※过温断电、压力平衡设计，符合GMP、ISO14644及半导体行业SEMI标准；

※具有缺相检测、自诊断、漏电、风机过热、短路、过载、缺相保护等安全装置；

※具有断偶及超温自动停止加热并报警，来电恢复、自诊断、突发情况参数自动保存等功能；

※设备运行过程中突然出现故障，仪表屏幕会有明显标识及代码，便于快速排除故障解决问题。

应用领域

※科研机构：高校实验室、材料研究所（如中科院、清华大学）；

※食品化工：高纯度试剂、纳米材料干燥（如新和成、万华化学）；

※生物制药：疫苗研发、无菌原料药干燥（如药明康德、恒瑞医药）；

※半导体/光电：晶圆切割片、光学镜片低氧干燥（如中芯国际、京仪集团）。

技术参数